Los rayos X se han utilizado durante décadas para estudiar la estructura de los materiales cristalinos. Sin embargo, en las técnicas de los últimos años se han ideado que, en combinación con la disponibilidad de intensos haces colimados de fuentes de radiación, han transformado los rayos X en una versátil y potente herramienta para el estudio de superficies, monocapas y películas delgadas
Para la caracterización de pelí­culas delgadas es conveniente utilizar la técnica de difracción de rayos X con ángulo rasante (GIXRD por sus siglas en ingles) para eliminar la contribución de información relacionada al sustrato[1].
La técnica de difracción de rayos X con incidencia rasante (GIXRD): se usa fundamentalmente para caracterizar materiales depositados o crecidos sobre sustratos tanto amorfos como monocristalinos, pudiendo realizar identificación de fases, cambios de fase, calculo de tamaño de grano, deformaciones de red, estudios en perfil, estado de oxidación, propiedades mecánicas superficiales[14 ]. Esta técnica se caracteriza por ser no destructiva y con sensibilidad superficial: adicionalmente se basa en la teoría cinemática la cual es bien conocida y sencilla de aplicar. Otra ventaja es que tiene la posibilidad de usar un difractometro convencional de polvo, con solo adaptarle una rejilla Soller y un monocromador plano[2].
El dispositivo de incidencia rasante transforma la geometrí­a convencional de Bragg-Brentano, en una geometrëa asimétrica de Bragg[3]. Con esta geometrí­a, se fija el ángulo de incidencia ?i de los rayos X, que pasan através de un sistema de colimación de incidencia e inciden sobre la muestra. El brazo del detector se mueve según 2?, mientras permanece ?i constante y el haz difractado es trasformado en haz paralelo mediante las rendijas múltiples del colimador Soller y posteriormente llega el haz al monocronador y finalmente al detector.
En la técnica de difracción de rayos X a incidencia rasante hay que tener en cuenta ciertas consideraciones para la interpretación de los resultados como por ejemplo:
El desdoblamiento de picos: al utilizar elevados ángulos de incidencia rasante, para conseguir un mayor contacto sobre la muestra, se produce desdoblamiento de picos debido a que las placas del Soller bloquea parte de los haces difractados. El mayor ángulo para utilizar es ?i < 5o y alcanzar evitar dicho efecto.
Desplazamiento angular: si se emplean ángulos de incidencia demasiado bajos, puede haber un pequeño corrimiento de las posiciones en 2? de los picos obtenidos debido a la refracción, por la que habría que hacer correcciones de las posiciones de los ángulos.
Aparición de picos extras: en ocasiones, pueden aparecer en los difractogramas picos extraños muy estrechos que se desplazan en 2? igual al doble de la variación del ángulo de incidencia rasante que se fije. Estos picos que aparecen y que modifican su posición en 2? se interpretan como debidos a la naturaleza cristalina del sustrato empleado, que dan lugar a reflexiones Laue.

1. Ramírez, P. Caracterización de Películas Pasivas Formadas Sobres Acero Inoxidable en Soluciones Modelos del Poro de Concreto. 2002. 22.
2. Martel, A. Caballero, F. Olivia, A. Depth Profiling study of the CdTe/ CdS/ITO/Glass Hererostructure with AES and GIXRD. Phys. Stat. Sol. 220. 2000. 261-267.
3. Neuhauser, J. Treffer, G. Planitz, H. Wagner, W. Grazing incidence X-ray diffraction analysis of surface modified SiC layers. Fresenius J Anal Chem. 358. 1997. 334-334.